先进光刻匀光

光刻耦合光路集成球透镜、半球透镜与准直透镜等无源器件，实现高效模斑转换与光束整形，将发散光校准为准直匀光光斑，提升光路耦合效率，保障光刻分辨率与均匀性，是光刻系统国产替代的核心无源配套元件。

晶圆缺陷检测

明场 / 暗场检测镜头内，半球透镜与球透镜组成无源收集光路，高效收集晶圆表面散射光信号，精准识别纳米级颗粒与图形缺陷。准直透镜承担深紫外光路聚焦功能，突破衍射极限实现超分辨成像；准直透镜构建的准直偏振光路，可区分真实缺陷与膜厚不均伪信号，有效降低检测误报率。

关键尺寸量测

光学关键尺寸量测设备依托准直透镜聚焦探测光束，可在非破坏前提下精确测量线宽、孔深与套刻偏移量。球透镜可作为参考光路的延迟元件，通过干涉量抵消环境振动误差；准直透镜可在多入射角测量中快速切换光束方向，适配 FinFET、GAA 等复杂三维结构的高精度测量需求。

薄膜量测与先进封装

椭偏仪光路中集成球透镜等无源聚焦器件，可形成极小测量光斑，实现介质层与金属薄膜厚度、折射率的高精度重复测量，充分适配 Chiplet、3D IC 堆叠工艺的多层薄膜表征需求。准直透镜在光谱椭偏仪中对宽带白光准直，确保宽光谱范围内焦点一致；半球透镜可适配高曲率样品测量，覆盖 TSV、微凸点等先进封装结构检测场景。

激光退火

椭偏仪光路中集成球透镜等无源聚焦器件，可形成极小测量光斑，实现介质层与金属薄膜厚度、折射率的高精度重复测量，充分适配 Chiplet、3D IC 堆叠工艺的多层薄膜表征需求。准直透镜在光谱椭偏仪中对宽带白光准直，确保宽光谱范围内焦点一致；半球透镜可适配高曲率样品测量，覆盖 TSV、微凸点等先进封装结构检测场景。

掩模检测与修复

深紫外检测光路通过半球透镜耦合至高 NA 物镜，可精准定位掩模缺陷位置，引导激光或电子束完成定点修复。准直透镜作为合束无源元件，可将检测光与修复激光共轴导入，实现所见即所得的修复效果，在真空紫外波段保持高透过率，确保修复能量精准输出。